在全球半导体、新能源及高端制造产业加速升级的背景下,徐州国基原子制造有限公司(以下简称“国基原子”)作为国内原子级精密制造领域的创新先锋,持续聚焦原子尺度材料制备与性能调控研究。近期,国基原子正式引入我司HQT-4型全自动综合热分析仪,通过多维度热分析能力,为原子级材料合成、工艺优化及性能评价提供关键技术支撑。
国基原子的核心研究方向涵盖原子层沉积(ALD)材料、半导体异质结界面调控及新能源纳米材料开发等。此类研究需精准解析材料在不同温度、气氛下的热行为,例如:
原子层沉积材料:薄膜生长过程中前驱体分解温度、热稳定性及相变动力学;
半导体界面调控:异质结界面处金属-半导体接触层的热膨胀匹配性;
新能源纳米材料:锂离子电池电极材料(如硅基负极)的热分解特性与循环寿命关联。
HQT-4型全自动综合热分析仪集成热重分析(TGA)与差示扫描量热(DSC)双模块,支持室温至1550℃宽温域覆盖,可同步监测材料质量变化与热流信号,为上述研究提供“质量-热量-温度”三维数据链,有效解决传统单功能热分析设备信息碎片化的问题。
1. 多维度同步分析能力
设备采用双传感器设计,可在同一测试过程中获取材料的质量损失(TGA)、热焓变化(DSC)及温度曲线(DTA),避免多设备测试的误差累积。例如,在分析原子层沉积氧化铝薄膜的热氧化行为时,可同步观察其质量增加(氧化反应)与放热峰(反应热),精准定位氧化起始温度与反应剧烈程度。
2. 智能化与高效性
数据一键解析:内置动力学计算模块(支持Kissinger、Flynn-Wall-Ozawa等模型),可直接输出热分解活化能、反应级数等参数,简化科研人员的数据处理流程。
3. 极端环境适配性
配备耐腐蚀气体管路与密封坩埚套件,可在氧气、氢气、氩气等多种气氛(纯度≥99.999%)中稳定运行,尤其适配国基原子在含硫、含卤素前驱体(如H2S、TiCl4)的原子层沉积工艺研究中对设备耐腐蚀性的需求。
半导体材料开发:分析ALD工艺制备的氮化钛(TiN)阻挡层在高温退火中的质量变化(如氮流失)与热流波动,优化薄膜致密性与电导率;
纳米能源材料:测定硅基负极材料在充放电循环中的热分解动力学,指导包覆层(如碳/氧化亚硅)的厚度与热稳定性设计;
界面调控研究:通过热膨胀系数(CTE)匹配分析,优化GaN/AlN异质结界面的热应力分布,提升半导体器件可靠性;
工艺参数优化:在原子层沉积ZnO薄膜时,通过TGA-DSC同步测试确定前驱体(如二乙基锌)的最佳分解温度区间,降低工艺能耗。
国基原子作为江苏省“专精特新”企业,近年来在原子级精密制造装备、第三代半导体材料等领域成果丰硕。此次引入HQT-4型设备,标志双方在“仪器-材料-工艺”协同创新上迈出关键一步。我司将提供:
定制化测试方案:针对原子层沉积薄膜、纳米颗粒等特殊形态样品,优化坩埚类型(如微量样品盘)与升温速率;
数据溯源服务:配备苯甲酸、铟等标准物质校准模块,确保热重(精度±0.1μg)、热流(精度±0.1μW)数据的国际可比性;
联合技术培训:定期开展热分析技术研讨会,协助国基原子科研团队掌握动力学模型、气氛切换等核心应用技巧。
在“中国智造”向“中国精造”升级的进程中,精密仪器是推动材料创新的关键基石。HQT-4型全自动综合热分析仪的引入,不仅为国基原子的原子制造研究注入新动能,更彰显了以专业仪器服务先进制造的合作理念。未来,我们期待与更多行业先锋携手,以热分析技术为纽带,共同探索原子尺度材料的无限可能,为高端制造产业的高质量发展提供坚实支撑。